超純水的制備主要包括：預(yù)脫鹽和精處理脫鹽兩大部分。預(yù)脫鹽常常采用離子交換工藝和反滲透工藝。而預(yù)脫鹽后續(xù)的精脫鹽則根據(jù)目標(biāo)水質(zhì)的要求而有所不同，對超高純水，一般采用EDI技術(shù)；而對要求低一點的純水，可采用混床技術(shù)。
